一种碳化硅板涂层喷涂设备
授权
摘要
本实用新型涉及碳化硅板技术领域,尤其是一种碳化硅板涂层喷涂设备,包括桌架、喷涂机,喷涂机包括喷涂头,桌架一侧设有升降板,升降板一侧固定设有若干导向柱,桌架一侧设有若干导向孔,导向柱均滑动连接在导向孔内侧,桌架一侧设有十字连接架,导向柱另一端均固定连接在十字连接架一侧上,十字连接架一侧设有自动升降装置,桌架一侧设有固定板。本实用新型,通过设置升降板、导向柱、十字连接架、自动升降装置、固定板、滑动板、A螺纹杆、A伺服电机、T型滑块、自动滑动装置,使其具有自动升降、自动调节涂层厚度、自动喷涂等功能,节省人工且可进行均匀喷涂。
基本信息
专利标题 :
一种碳化硅板涂层喷涂设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021504931.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-27
授权号 :
CN212820678U
授权日 :
2021-03-30
发明人 :
郭辉刘欣蔡祗首杨涛
申请人 :
惠州市中惠宇航半导体新材料有限公司
申请人地址 :
广东省惠州市仲恺高新区陈江街道陈江大道北36号高新科技创新孵化器5楼501号
代理机构 :
广州市红荔专利代理有限公司
代理人 :
余志军
优先权 :
CN202021504931.2
主分类号 :
B05B13/04
IPC分类号 :
B05B13/04 B05B15/68 B05B12/08
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B13/00
不包含在B05B1/00至B05B11/00各组中的,用喷射的方法在物体或其他工件的表面涂布液体或其他流体的机器或设备
B05B13/02
支撑工件的装置;喷头的配置或安装;进给工件装置的改进或配置
B05B13/04
操作时移动喷头
法律状态
2021-03-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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