一种基于原子力显微镜的光路集成结构
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摘要
一种基于原子力显微镜的光路集成结构，包括：基板，用于提供支撑基础；载物台组件，设置在基板上用于放置待测物；激光发生组件，设置在基板上用于发出激光束；第一反射组件，设置在所述基板上用于将激光发生组件产生的激光束反射到载物台组件；第二反射组件，设置在所述基板上用于将载物台组件反射回来的激光束反射到探测器单元；探测器单元，设置在所述基板上用于接收第二反射组件反射来的激光束并感应激光束的落点位置。本实用新型的有益效果在于，本实用新型的结构通过双反射镜精准定位，定位精度可达纳米级，载物台组件和探针调节器可实现对探针的移动控制更加细微精确，省去大量光路调节时间，使得实验效率得到提升。
基本信息
专利标题 ：
一种基于原子力显微镜的光路集成结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021537226.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-29
授权号 ：
CN212780880U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
李克武邓祎昕李元振许涛温斐旻
申请人 ：
中北大学
申请人地址 ：
山西省太原市学院路3号
代理机构 ：
北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
刘莹莹
优先权 ：
CN202021537226.2
主分类号 ：
G01Q60/24
IPC分类号 ：
G01Q60/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q60/00
特殊类型的SPM或其设备；其基本组成
G01Q60/24
AFM或其设备，例如AFM探针
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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