耦合反射和透射光路的原子力显微镜
公开
摘要
本发明提供一种耦合反射和透射光路的原子力显微镜，包括腔体、探针、制冷系统和光学系统，腔体设有真空腔，真空腔用于容纳样品和探针，探针用于对样品表面进行探测；制冷系统用于给样品和探针制冷；光学系统包括一对视窗组件和一对物镜，视窗组件包括中空壳体和用于封闭中空壳体第二端的透光盖板，中空壳体的第二端伸入腔体内，两个透光盖板平行对称设置，样品和探针位于两个透光盖板之间；一对物镜分别设在一对中空壳体内，两个物镜平行对称设置，样品能够与物镜的轴线垂直。将传统物镜与超高真空超低温原子力显微镜的探针耦合，且激光能够垂直入射同时满足反射光路和透射光路的探测条件。
基本信息
专利标题 ：
耦合反射和透射光路的原子力显微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114594284A
申请号 ：
CN202210068408.7
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-01-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘大猛王冲庞华刘惠贤雒建斌
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区双清路30号清华大学
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
李梦晨
优先权 ：
CN202210068408.7
主分类号 ：
G01Q60/24
IPC分类号 ：
G01Q60/24 G01Q60/42
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q60/00
特殊类型的SPM或其设备；其基本组成
G01Q60/24
AFM或其设备，例如AFM探针
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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