一种用于制备真空光感键合微流控生物芯片的装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于制备真空光感键合微流控生物芯片的装置。在已制备有微流控结构的石英基底顶面边缘和石英盖板底面边缘分别制作环形粘合槽，石英盖板顶面开设两个导流导气孔，导流导气孔下端连通盖板粘合槽；将石英基底与石英片盖板上下对准贴合，盖板粘合槽与基底粘合槽连通形成粘合通道，石英基底与盖板粘合槽围成中间区域间的间隙(微流控通道)与石英基底表面的微流控结构形成微流控结构区。本实用新型装置能解决热压键合封装中由于高压、高温产生气泡、胶体外溢到结构区和基底损坏的键合缺陷，还用于微流控生物芯片的快速封装制备。
基本信息
专利标题 ：
一种用于制备真空光感键合微流控生物芯片的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021580033.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-03
授权号 ：
CN213348927U
授权日 ：
2021-06-04
发明人 ：
张琬皎龙眈
申请人 ：
杭州欧光芯科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市大江东产业集聚区义蓬街道青六中路888号义蓬科创园1101室
代理机构 ：
杭州求是专利事务所有限公司
代理人 ：
林超
优先权 ：
CN202021580033.5
主分类号 ：
B01L3/00
IPC分类号 ：
B01L3/00 B81C3/00 B81C1/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01L
通用化学或物理实验室设备
B01L3/00
实验室用的容器或器皿，如实验室玻璃仪器；点滴器
法律状态
2021-06-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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