扫描电镜扫描成像的演示装置和系统

授权

摘要

本申请提供了一种扫描电镜扫描成像的演示装置和系统，涉及扫描电子显微镜领域。该演示装置包括安装件、模拟样品和透光材料制成的光路模型，安装件开设有安装格，模拟样品设置于安装格内，光路模型安装于模拟样品的上方，光路模型包括用于演示电子束聚焦的上部光路和用于演示电子束偏转的下部光路，上部光路和下部光路固定连接。该演示装置不使用任何活动部件，直接将预先制造的光路模型安装在模拟样品的表面，可以直观的了解电子束的聚焦和偏转，进而能够实现直观地了解扫描电镜扫描成像的方法和原理。该演示系统能够清晰直观的演示扫描电镜扫描成像过程中大部分的部件以及部件之间的位置关系。

基本信息

专利标题：

扫描电镜扫描成像的演示装置和系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021680807.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-11

授权号：

CN213277140U

授权日：

2021-05-25

发明人：

杨振英张伟高尚黄梦诗马清刘海涛周彬于洪涛

申请人：

深圳市美信检测技术股份有限公司

申请人地址：

广东省深圳市宝安区石岩街道松白公路北侧方正科技工业园研发楼1108室

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

黄燕

优先权：

CN202021680807.1

主分类号：

G09B23/22

IPC分类号：

G09B23/22