一种集成电路生产的基片涂层烘干箱
授权
摘要
本实用新型属于集成电路生产领域，具体为一种集成电路生产的基片涂层烘干箱，包括烘干机构、加热机构，所述烘干机构包括箱体、箱门、观察窗、支撑板、双向螺纹杆，所述箱体前部通过螺钉连接的铰链支撑有所述箱门，所述箱门远离所述铰链的一端通过螺钉连接有锁扣，所述箱门前部靠近所述锁扣的一侧安装有箱门把手，所述箱门上嵌入有所述观察窗，所述箱体内侧壁上固定有所述支撑板，所述支撑板上转动连接有所述双向螺纹杆，所述双向螺纹杆上通过螺纹连接有两个位移块。本实用新型采用设置在箱体外部的转动把手带动双向螺纹杆转动，因此不会加热转动把手，也就不会烫伤人员。
基本信息
专利标题 ：
一种集成电路生产的基片涂层烘干箱
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021793280.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-25
授权号 ：
CN213315998U
授权日 ：
2021-06-01
发明人 ：
吴亚祥
申请人 ：
江苏洲旭电路科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市涟水县经济开发区电子产业园6＃厂房
代理机构 ：
重庆晟轩知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孔玲珑
优先权 ：
CN202021793280.3
主分类号 ：
B05D3/04
IPC分类号 ：
B05D3/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05D
对表面涂布流体的一般工艺
B05D3/00
涂布液体或其他流体的表面的预处理；已有涂层的后处理，例如要用液体或其他流体作后续涂布的已有的涂层的中间处理
B05D3/04
暴露在气体中
法律状态
2021-06-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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