一种均匀镀膜钼舟
授权
摘要
本实用新型公开了一种均匀镀膜钼舟，包括钼舟本体，钼舟本体包括内腔为四棱台型的舟舱，舟舱沿纵向的两个相对的侧壁内表面设有阶梯状结构，舟舱的两侧上端沿水平方向向外延伸有一体连接的舟翼，舟翼的两侧上端分别转动连接有左舟盖和右舟盖，左舟盖和右舟盖的底部分别固定连接有左引导板和右引导板，左引导板与右引导板的端部均与舟舱的两侧内壁相平行，左引导板的内部与右引导板的内部均开设有若干个引导通道，舟舱的顶部边缘固定有矩形密封块，矩形密封块分别与左舟盖和右舟盖相适配。本实用新型通过左引导板与右引导板以及移动通道和镀膜孔，能够引导镀膜蒸汽分别沿舟舱的内侧表面和引导通道向上移动，从而实现均匀镀膜。
基本信息
专利标题 ：
一种均匀镀膜钼舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021796248.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-25
授权号 ：
CN213203178U
授权日 ：
2021-05-14
发明人 ：
宫秀明曾桂阳王久文
申请人 ：
东莞泰岳光学镀膜材料有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市长安镇沙头社区裕成路36号翰诠科技大厦13楼01单元
代理机构 ：
东莞市永邦知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈保江
优先权 ：
CN202021796248.0
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-05-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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