半导体专用切换控温装置

授权

摘要

本实用新型涉及温控技术领域，提供一种半导体专用切换控温装置，包括：换热管路，用于和被控设备进行热交换；第一支路，适于向所述换热管路提供具有第一设定温度的换热介质；第二支路，适于向所述换热管路提供具有第二设定温度的换热介质；所述第一支路和所述第二支路择一与所述换热管路导通，所述第一设定温度和所述第二设定温度不同。根据本实用新型实施例的半导体专用切换控温装置，由于第一支路和第二支路择一导通换热管路，也即可以选择使得具有第一设定温度的换热介质流入换热管路当中，也可以选择使得具有第二设定温度的换热介质流入换热管路当中，以实现对被控设备的快速温度调节。

基本信息

专利标题：

半导体专用切换控温装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021869698.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-31

授权号：

CN213515251U

授权日：

2021-06-22

发明人：

董春辉刘紫阳芮守祯何茂栋曹小康

申请人：

北京京仪自动化装备技术股份有限公司

申请人地址：

北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

吴欢燕

优先权：

CN202021869698.8

主分类号：

F28F27/02

IPC分类号：

F28F27/02 H01L21/67