本实用新型公开了一种基板进料低噪吸尘装置，包括吸尘箱、软管、低噪箱以及安装在低噪箱内的吸附箱和抽风机，吸尘箱固定在加电检测的进料口，下端设有与进料的基板通道连通的U形孔，侧面设有抽风口，并与软管密闭连通，软管另一端与吸附管连通，吸附箱设有抽气口，并通过弯管与组合管密闭连通，组合管再与抽风机密闭连通，抽风机的排气口与低噪箱侧壁的排风口之间设有消音管，利用软管将抽风机与产线上的吸尘箱隔离开，减少产线负载重量和占用空间，并且将抽风机和吸附箱共同安装于吸音板制成的低噪箱内，降低对产线无尘、无噪环境的影响，设计唯一的添液排液口，减少开口数量，增加箱体密闭性，且排气口设有消音网栅，进一步降噪，实用效果佳。