一种高压单晶炉上下炉体锁紧及炉体密封结构
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摘要
本发明公开了一种高压单晶炉上下炉体锁紧及炉体密封结构,解决了如何完成高压单晶炉上下炉体可靠密封的问题。包括下炉体(1)和上炉体(3),上炉体通过它的下端口错齿法兰盘(4)扣接在下炉体(1)的上端口错齿法兰盘(2)上,在下炉体(1)的炉底板中央处,设置有驱动轴伸出孔(24),在下端口错齿法兰盘(4)与上端口错齿法兰盘之间,设置有带错齿锁紧圈(5),在下端口错齿法兰盘(4)与上端口错齿法兰盘之间,分别设置有唇形密封圈(6)和O形密封圈(7);在驱动轴伸出孔(24)中设置有动密封法兰盘(25),在动密封法兰盘中活动设置有驱动轴(23)。本发明在真空、高压环境的单晶炉中营造了可靠稳定的温度梯度场。
基本信息
专利标题 :
一种高压单晶炉上下炉体锁紧及炉体密封结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021984610.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-11
授权号 :
CN212505158U
授权日 :
2021-02-09
发明人 :
解永强张红梅王宏杰柳森娟唐宏波
申请人 :
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
申请人地址 :
山西省太原市万柏林区和平南路115号
代理机构 :
山西华炬律师事务所
代理人 :
陈奇
优先权 :
CN202021984610.7
主分类号 :
C30B29/48
IPC分类号 :
C30B29/48 C30B11/02
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/46
含硫、硒或碲的化合物
C30B29/48
AⅡBⅥ化合物
法律状态
2021-02-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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