一种用于聚对二甲苯真空沉积系统的耐高温密封结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于聚对二甲苯真空沉积系统的耐高温密封结构,包括主机、真空腔室和底座,所述底座布置于主机的一侧,真空腔室水平布置于底座的顶端,所述主机靠近真空腔室的一端连接有管口法兰一。本实用新型通过在管口法兰一与管口法兰二上皆设有环形隔热槽,并在环形隔热槽内部填充有环形陶瓷或隔热棉,一方面利用环形隔热槽部位管口法兰侧壁厚度降低减小了热量向外侧传递的速率,另一方面利用环形隔热槽内部的环形陶瓷或隔热棉的隔热保温效果避免了管口法兰的散热对高温原材料造成温度降低的影响,由于冷却槽布置于环形隔热槽的外侧,则避免了冷却槽冷却对密封垫降温保护过程中对高温原材料造成品质的影响。
基本信息
专利标题 :
一种用于聚对二甲苯真空沉积系统的耐高温密封结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022022334.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-16
授权号 :
CN213206874U
授权日 :
2021-05-14
发明人 :
杨宏武李洪王军
申请人 :
吉世科精密涂装(深圳)有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区福海街道重庆路安达工业厂区2栋5楼
代理机构 :
深圳市千纳专利代理有限公司
代理人 :
胡坚
优先权 :
CN202022022334.2
主分类号 :
F16L23/16
IPC分类号 :
F16L23/16 F16L23/18 F16L53/70 F16L53/75 C23C16/44
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L23/00
法兰联接
F16L23/16
以密封方式为特征的
法律状态
2021-05-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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