旋转接头和硅片处理装置
授权
摘要

本实用新型提供了一种旋转接头和一种硅片处理装置,旋转接头包括:轴承座,轴承座内设置有轴孔和进液腔,轴孔和进液腔相连通,轴孔的孔壁上设置有密封槽;转轴,设置于轴孔中,转轴内设置有通道,通道与进液腔相连通;密封件,位于密封槽内,密封件包括:耐磨圈,套设于转轴上;密封圈,套设于耐磨圈上。通过设置耐磨圈可以借助耐磨圈所具备的耐磨特性降低密封件在工作过程中的磨损量。避免出现因频繁转动的转轴磨损密封件所引起的液体泄漏现象。并且耐磨圈结构可以显著提升密封件的使用寿命,削减旋转结构的维护成本,提升产品的整体使用寿命。进而实现优化旋转接头结构,提升旋转接头密封可靠性,延长旋转接头使用寿命的技术效果。

基本信息
专利标题 :
旋转接头和硅片处理装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022041198.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-17
授权号 :
CN213512548U
授权日 :
2021-06-22
发明人 :
左国军成旭邱瑞谈丽文李雄朋任金枝
申请人 :
常州捷佳创精密机械有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
代理机构 :
北京友联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
尚志峰
优先权 :
CN202022041198.1
主分类号 :
F16L27/08
IPC分类号 :
F16L27/08  H01L21/67  F16J15/20  F16C35/06  F16C33/78  
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L27/00
可调连接;允许移动的连接
F16L27/08
仅在1个管子的轴线上允许调节或移动
法律状态
2021-06-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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