硅片目检旋转载台
授权
摘要
本实用新型公开一种硅片目检旋转载台，包括底座以及安装在底座上的承载台，承载台能够相对于底座旋转，承载台上至少均布有3个用于承载硅片的治具，该治具包括垂直于承载台的承载架，承载架上沿其延伸方向间隔设置有多层用于承载硅片的承载段。本实用新型能够检查到硅片边缘top面的缺陷，使硅片360°的位置的缺陷都能够被检查到。
基本信息
专利标题 ：
硅片目检旋转载台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122397169.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-30
授权号 ：
CN216213360U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
周诗
申请人 ：
徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122397169.3
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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