半自动目检机
授权
摘要
本实用新型的半自动目检机，其包括具有上料区域、合格产品收料区域、NG产品收料区域、以及产品暂存区域，其中产品暂存区域有多个，且分别与上料区域、合格产品收料区域、NG产品收料区域一一对应形成多条目检产品传输线，其中每一条目检产品传输线上对应设置一个晶圆取放机构。本实用新型通过多条目检产品传输线设置，以便于产品检测和收料，而且在暂存区域的辅助下，确保取料手在泄压时不会出现掉落的可能，同时也十分方便吸笔的吸取和晶圆在检测时的暂存，此外，晶圆吸取角度不会存在偏差，而且在移动过程一直处于水平状态，进而大幅度降低晶圆移动过程中出现掉落的概率。
基本信息
专利标题 ：
半自动目检机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021730022.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-18
授权号 ：
CN212587453U
授权日 ：
2021-02-23
发明人 ：
颜博
申请人 ：
苏州新尚思自动化设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区太湖新城中山南路568号兰生沃德威互联网产业园25幢101-1
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
方中
优先权 ：
CN202021730022.0
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66 H01L21/677 H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2021-02-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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