尖峰退火加热装置及尖峰退火机台
授权
摘要
本实用新型提供一种尖峰退火加热装置及尖峰退火机台，属于半导体技术领域。尖峰退火加热装置，包括：控温单元，以及与控温单元电连接的加热灯，控温单元用于控制加热灯的发热功率，控温单元与加热灯连接的电路上设置有电流传感器以及电压传感器，电流传感器用于检测加热灯的输入电流，电压传感器用于检测加热灯的输入电压。能够对加热灯进行实时检测，便于用户获取加热灯的使用状态(寿命状态)，从而及时更换加热灯，提高尖峰退火过程的连续性和稳定性。
基本信息
专利标题 ：
尖峰退火加热装置及尖峰退火机台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022050766.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-17
授权号 ：
CN212750823U
授权日 ：
2021-03-19
发明人 ：
罗承先
申请人 ：
泉芯集成电路制造(济南)有限公司
申请人地址 ：
山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张洋
优先权 ：
CN202022050766.4
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/324
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-03-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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