一种激光退火机台用功率计夹具
授权
摘要
本实用新型公开了一种激光退火机台用功率计夹具，包括基座和限位块，基座上形成有凸缘，凸缘与限位块限定出功率计槽以用于安装功率计。本实用新型通过将限位块设置于基座的安装功率计一侧，安装或拆卸限位块时，可目视作业，且操作空间大，提高了安装或拆卸效率，减少了安装或拆卸时间，有利于提高产能；同时，限位块远离光标尺，很好了避免了拆卸或安装限位块时可能导致的光标尺损坏；另外，限位块与凸缘处于同一侧，两者限定出功率计槽，两者共同对功率计进行限位和固定，且可直接将功率计安装于功率计槽，无需转动基座，更便于功率计的安装。
基本信息
专利标题 ：
一种激光退火机台用功率计夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123133635.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-14
授权号 ：
CN216671571U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
郭劲吕剑苏亚青
申请人 ：
华虹半导体（无锡）有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区新洲路30号
代理机构 ：
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 ：
戴广志
优先权 ：
CN202123133635.3
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 G01J1/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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