曝光机台电子枪加热系统
授权
摘要
本实用新型提供曝光机台电子枪加热系统，包括：离子泵、分子泵、加热带，分子泵一端通过管道接真空室、另一端接机械泵，离子泵通过管道接入真空室，加热带缠绕在离子泵外部，高温情况下，气体分子运动加速，气体分子与活性膜的反应也会加快，提高了分子泵抽取离子泵内气体的速度，操作方便、结构简单。
基本信息
专利标题 ：
曝光机台电子枪加热系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921338761.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-19
授权号 ：
CN211858576U
授权日 ：
2020-11-03
发明人 ：
周凯
申请人 ：
无锡迪思微电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6
代理机构 ：
无锡市朗高知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵华
优先权 ：
CN201921338761.2
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317 H01J37/18 G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2020-11-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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