本实用新型提供一种半导体碳化硅电子元器件热能循环烘烤装置，涉及电子元器件领域。包括烘烤箱，所述烘烤箱的下表面固定安装有支撑腿，烘烤箱的背面固定安装有风机，所述风机的下表面固定连接有回风管。该半导体碳化硅电子元器件热能循环烘烤装置，通过设置驱动电机、主动轮、传动带、从动轮、第一螺纹丝杆和第二螺纹丝杆，可以同时带动第一螺纹丝杆和第二螺纹丝杆旋转，使螺纹滑块通过螺纹的作用上下滑动，进而带动放置盒上下滑动，使烘烤更加均匀，通过设置温度检测装置，对烘烤箱内的温度进行检测，防止温度过高造成电子元器件损坏，通过设置气压检测装置，对烘烤箱内气压进行检测，防止烘烤箱内温度升高造成气压增大。