一种用于硅晶圆检测的显微镜检测治具
授权
摘要
本实用新型提供了一种用于硅晶圆检测的显微镜检测治具，包括：显微镜检测台，包括第一底座以及两水平支架；12寸检测治具，每个所述水平支架上设置一个所述12寸检测治具，每个所述12寸检测治具上设置一个第一U型槽；以及8寸检测治具，每个所述12寸检测治具上设置一个所述8寸检测治具，每个所述8寸检测治具通过销轴与所述12寸检测治具可转动连接，每个所述8寸检测治具上远离所述12寸检测治具的一端设有第二U型槽。本实用新型的一种用于硅晶圆检测的显微镜检测治具，8寸检测治具与12寸检测治具组合后设置在所述显微镜检测台上，在8寸支架与12寸支架更换检测时不需要更换显微镜或显微镜检测治具，操作简单方便，大大提高了生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种用于硅晶圆检测的显微镜检测治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022182025.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-28
授权号 ：
CN212989149U
授权日 ：
2021-04-16
发明人 ：
娄飞
申请人 ：
南通市万泰精密模具有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市丁堰镇鞠庄村27组29号
代理机构 ：
苏州瞪羚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周治宇
优先权 ：
CN202022182025.1
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01 G01N21/95
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2021-04-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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