一种用于湿法刻蚀机的配液系统
授权
摘要
本发明公开了一种用于湿法刻蚀机的配液系统，包括储液槽、与储液槽相连的供液管路单元，称重模块，以及PLC控制模块；所述的供液管路单元，包括若干条供液管路以及设置在所述供液管路和所述储液槽接口端的控制阀；所述的称重模块，安装在所述储液槽的底端，用于记录储液槽中液体的重量；所述的PLC控制模块，与所述的控制阀和所述的称重模块相连，根据所接收的称重模块所输入的重量数据控制控制阀的启闭。本实用新型的配液系统直接通过重量的控制配置刻蚀液，减少刻蚀槽酸液配比误差，提高配液的精度。
基本信息
专利标题 ：
一种用于湿法刻蚀机的配液系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022184069.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
CN213913603U
授权日 ：
2021-08-10
发明人 ：
陆宇峰王玉涛张忠卫
申请人 ：
南通苏民新能源科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市通州湾江海联动开发示范区扶海路99号
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
董建林
优先权 ：
CN202022184069.8
主分类号 ：
B01F15/02
IPC分类号 ：
B01F15/02 B01F15/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01F
混合，例如，溶解、乳化、分散
B01F15/00
混合机附件
B01F15/02
送料或卸料机构
法律状态
2021-08-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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