一种用于镀膜机的控温装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于镀膜机的控温装置，包括真空炉，所述真空炉的内部底表面设置有蒸发源，所述真空炉的一侧内壁设置有第一加热器，所述真空炉的另一侧内壁设置有第二加热器，所述真空炉的内部上侧位置设置有第三加热器，所述第一加热器、第二加热器和第三加热器上均等距设置有多个加热管，所述第三加热器的下方设置有基片，所述真空炉的内壁对应基片的下表面后侧设置有多个膜厚仪，所述真空炉的内部顶表面设置有温度感应器，所述真空炉的外表面一侧连接有控制器。本实用新型中，炉内设有三个加热器，各加热器均由独立的加热管组成，实现不同区域温度独立控制，配合膜厚仪检测基片各位置镀膜厚度实现相应的控制作业，保证基片表面镀膜均匀。
基本信息
专利标题 ：
一种用于镀膜机的控温装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022227921.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-09
授权号 ：
CN213266690U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
莫勇
申请人 ：
重庆亿博光电仪器有限公司
申请人地址 ：
重庆市北碚区缙云大道10号附1号
代理机构 ：
重庆越利知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
熊恒定
优先权 ：
CN202022227921.5
主分类号 ：
C23C14/54
IPC分类号 ：
C23C14/54 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/54
镀覆工艺的控制或调节
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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