采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台和原子力显微镜系统
授权
摘要
一种采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台，包括顶部输出平台、Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座，其中，所述Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座之间采用立体交叉的连接方式进行连接，使Y轴工作机构的中央固定基准孔能够直接固定连接在底层基座上，即平台底座的一部分跨过X轴工作机构，从而与Y轴工作机构的某一部位连接。本实用新型提出的跨层连接叠层结构用跨层交叉连接方式取代了中间层转接基座的作用，能够有效减小平台厚度和质量。
基本信息
专利标题 ：
采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台和原子力显微镜系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022330944.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-19
授权号 ：
CN213483420U
授权日 ：
2021-06-18
发明人 ：
姜行健陈晓梅石俊凯李冠楠刘立拓高超周维虎
申请人 ：
中国科学院微电子研究所
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
刘歌
优先权 ：
CN202022330944.9
主分类号 ：
G12B5/00
IPC分类号 ：
G12B5/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G12
仪器的结构零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件
G12B
仪器的零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件
G12B5/00
仪器或其他设备或其部件的位置或状态的调整，例如，水平调整；倾斜或加速影响的补偿，例如，用于光学仪器的
法律状态
2021-06-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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