本实用新型公开了一种光刻机基底架的精密抛光装置，包括箱体，箱体内固定安装有吸尘设备、电机和冷风机，箱体的顶部开设有圆孔、吸尘孔和冷风孔，圆孔内固定安装有轴承，轴承的一端固定连接有电机的传动轴，轴承的另一端固定安装有旋转轴，旋转轴的一端固定安装在有磨盘，箱体上固定连接有环形挡板，环形挡板内壁上固定连接有环形卡条，箱体上还固定连接有弹簧支撑柱，弹簧支撑柱的一端固定连接有盖板，盖板的两侧固定连接有挂钩，盖板的底部固定连接有橡胶压板；本申请，能够对圆架进行密封打磨，避免粉尘飞扬，避免了粉尘对操作人员造成身体伤害，避免了浪费水资源和避免了圆架与水接触氧化，增加了基底架的使用寿命。