一种化合物半导体生长容器的支撑设备
授权
摘要
本实用新型涉及单晶生长技术领域,公开了一种化合物半导体生长容器的支撑设备,包括第一支撑部和第二支撑部,所述第一支撑部与第二支撑部相对设置且相触离,第一支撑部包括第一保护层、第一外壳,第二支撑部包括第二保护层、第二外壳,第一保护层和第二保护层中均开设有弧形槽,弧形槽中均开设有半圆柱槽,第一保护层与第二保护层相接触时形成的中空形状与生长容器的形状相匹配,第一外壳与第一保护层固定连接,第二外壳与第二保护层固定连接,第一外壳和第二外壳两侧均固定连接有磁铁块,四块磁铁块的中心位置均固定连接支撑杆。本实用新型能够降低了对装料人员的承重要求,提高了装料效率以及装料安全性。
基本信息
专利标题 :
一种化合物半导体生长容器的支撑设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022451041.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-29
授权号 :
CN214193526U
授权日 :
2021-09-14
发明人 :
成敏李敏李勇肖雨
申请人 :
威科赛乐微电子股份有限公司
申请人地址 :
重庆市万州区万州经开区高峰园B02
代理机构 :
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 :
张晨
优先权 :
CN202022451041.6
主分类号 :
C30B35/00
IPC分类号 :
C30B35/00
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B35/00
未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的装置
法律状态
2021-09-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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