一种具有支撑结构的光罩盒
授权
摘要
一种具有支撑结构的光罩盒,其特征在于,包括盒体,所述盒体的内顶部和内底部设有滑轨,所述滑轨上设有安装滑槽,所述滑轨上设有支撑件,所述滑轨的外端设有限位挡条,所述安装滑槽外端设有固定孔;所述支撑件一侧设有固定连接块,所述固定连接块上设有连杆,所述连杆连接滑动连接块,所述滑动连接块套接在螺纹杆上;所述限位挡条内设有限位滑槽,所述限位滑槽内设有滑杆,所述滑杆连接复位弹簧,所述限位挡条侧面设有拨动槽,所述拨动槽与所述限位滑槽连接,所述拨动槽内设有拨动块,所述拨动块垂直设在所述滑杆上。本实用新型通过滑轨方便支撑件的安装与拆卸,提高了效率,同时格栅状的支撑件保持了支撑强度的同时降低了成本。
基本信息
专利标题 :
一种具有支撑结构的光罩盒
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022458242.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-28
授权号 :
CN213957833U
授权日 :
2021-08-13
发明人 :
喻成虎
申请人 :
南京赛瑾精密科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市江宁区将军大道662号10号楼东
代理机构 :
南京常青藤知识产权代理有限公司
代理人 :
于薇
优先权 :
CN202022458242.9
主分类号 :
G03F1/66
IPC分类号 :
G03F1/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1/66
专门适用于掩膜,空白掩膜或薄膜的容器;其制备
法律状态
2021-08-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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