一种具有快速装夹结构的半导体蚀刻机
授权
摘要

本实用新型涉及半导体蚀刻机技术领域,具体为一种具有快速装夹结构的半导体蚀刻机,包括蚀刻机主体,所述蚀刻机主体的表面开设有入料口,所述入料口与蚀刻机主体的内部相连通,所述入料口的内部设置有挡板,所述扭力弹簧的另一端皆与夹块内壁固定连接,所述连接杆相互靠近的一侧皆设置有夹板,且夹板皆与连接杆的前后两端固定连接,所述夹板的顶端皆固定连接有拉把。本实用新型使得用户可对半导体进行快速固定,减少了用户固定半导体的时间,并且可针对不同规格的半导体进行固定,用户可对该装置对半导体的蚀刻情况进行观察,提高了该装置的实用性,提高了用户的工作效率,并且提高了用户的使用体验。

基本信息
专利标题 :
一种具有快速装夹结构的半导体蚀刻机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022520530.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-11-04
授权号 :
CN213124411U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
黄伟玲
申请人 :
黄伟玲
申请人地址 :
广东省广州市黄埔区万荟一街50号1305房
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202022520530.2
主分类号 :
H01L21/687
IPC分类号 :
H01L21/687  H01L21/67  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的,例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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