本实用新型涉及半导体蚀刻机技术领域，具体为一种具有烘干功能的半导体蚀刻机，包括半导体蚀刻机主体、电机和热风机，所述半导体蚀刻机主体表面的左侧固定连接有第一连接板，所述半导体蚀刻机主体表面的右侧固定连接有第三连接板，所述吹风箱的内部安装有热风机，所述热风机的顶端均匀安装有出风管，且出风管的顶端皆穿过吹风箱延伸至吹风箱的外部。本实用新型通过出风管向上吹送的热风对半导体进行烘干，通过转杆之间的空隙，使得热风均匀烘干半导体，提高了烘干的效率，避免了用户等待半导体自然晾干的情况，并且便于用户对热风机进行维修与更换，提高了该装置的实用性，并且减少了用户安装热风机的时间。