固定支架及半导体蚀刻设备
授权
摘要
本实用新型提供一种固定支架及半导体蚀刻设备，固定支架包括支架本体，支架本体包括第一支架部和第二支架部，第一支架部用于固定在半导体蚀刻设备上，且第一支架部与第二支架部连接以竖直向上支撑第二支架部；第二支架部呈平面状，且第二支架部的至少一部分外轮廓用于供气体管路绕行设置。如上，可以使气体管路绕行设置在第二支架部的外轮廓上，利用第二支架部的外轮廓对比气体管路的长度，保证气体管路安装时长度一致性，符合设计要求，并且可以使得气体管路安装规范化，节省安装时间。另外，气体管路绕行设置在第二支架部上，可以固定气体管路，避免其在真空状态下产生形变、张力或振动，可降低石英盖板的中心孔边缘破损而脱落颗粒物的风险。
基本信息
专利标题 ：
固定支架及半导体蚀刻设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122926819.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-25
授权号 ：
CN216279739U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
马晓
申请人 ：
广州粤芯半导体技术有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区凤凰五路28号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
冯启正
优先权 ：
CN202122926819.9
主分类号 ：
F16L3/00
IPC分类号 ：
F16L3/00 H01L21/67
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16L
管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法
F16L
管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法
F16L3/00
管子，电缆或护管的支持，如吊架、支持架、夹具、系缆墩、卡箍、托架
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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