一种离子分析装置，具备：反应室(2)，其被导入源自试样成分的前体离子；自由基生成部，其具有绝缘管551和使该绝缘管的内部发生放电的放电部(54、552)；气体供给部(52、53)，其能够向绝缘管的内部供给第一气体和第二气体，其中，该第一气体是自由基原料气体，该第二气体是氧气、臭氧气体、氮气、含有氧原子或氮原子的化合物的气体以及稀有气体中的任一方；真空排气部(57)，其对绝缘管的内部进行排气；自由基导入部(55)，其向反应室的内部导入自由基；以及控制部(93)，其执行第一动作和第二动作，其中，在该第一动作中，通过向绝缘管的内部导入第一气体并使绝缘管的内部发生放电来生成自由基，并将该自由基导入到反应室的内部，在该第二动作中，向绝缘管的内部导入第二气体。