用于控制电子束的静电透镜
公开
摘要
描述了一种包括静电透镜(7)的设备(100)，该静电透镜包括：光轴(6)；第一静电透镜元件(1)；第二静电透镜元件(2)；以及偏转器设备，该偏转器设备包括偏转器封装(5)，该偏转器封装具有多个电极(15)，该多个电极围绕光轴(6)周向地布置在第一静电透镜元件(1)的第一端(26)和第二静电透镜元件(2)的第二端(29)之间，并且布置成使电子束在垂直于光轴(6)的至少第一坐标方向(x，y)上偏转。偏转器封装(5)布置成使得在静电透镜(7)的操作期间，从第一静电透镜元件(1)行进到第二静电透镜元件(2)的电子首先通过第一静电透镜元件(1)和偏转器封装(5)之间的电场，随后通过偏转器封装(5)和第二静电透镜元件(2)之间的电场。
基本信息
专利标题 ：
用于控制电子束的静电透镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114303229A
申请号 ：
CN202080060729.1
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2020-08-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
麦卡欧·奥洛夫松
申请人 ：
盛达欧米科有限公司
申请人地址 ：
瑞典乌普萨拉
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
石磊
优先权 ：
CN202080060729.1
主分类号 ：
H01J49/44
IPC分类号 ：
H01J49/44 H01J49/46 H01J49/48 G01N23/227 H01J37/05 H01J49/00 H01J49/28
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J49/00
粒子分光仪或粒子分离管
H01J49/44
能量分光仪，如α-β分光仪
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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