具有调制光源的对准传感器
实质审查的生效
摘要
一种用于确定衬底的对准的设备和方法，其中，对对准标记进行照射的辐射源的强度是根据系统中的用于将模拟信号转换成数字信号的元件处于对所述信号进行采样的模式还是处于对所述信号进行转换并且因此对所述信号中的改变不敏感的模式而变化的，因而降低了所述衬底或系统光学部件暴露于所述照射辐射的量。
基本信息
专利标题 ：
具有调制光源的对准传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114450641A
申请号 ：
CN202080067961.8
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2020-09-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
阿里·阿尔萨卡J·亚当斯李斌
申请人 ：
ASML控股股份有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
张启程
优先权 ：
CN202080067961.8
主分类号 ：
G03F9/00
IPC分类号 ：
G03F9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F9/00
原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 9/00
申请日 : 20200914
申请日 : 20200914
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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