一种双面加工系统及加工方法
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摘要

本发明涉及一种双面加工系统及加工方法,所述加工系统包括工作台系统、光学系统和对位系统,所述工作台系统包括第一工作台和第二工作台,所述对位系统包括第一对位系统和第二对位系统,所述第一对位系统和所述第二对位系统位于所述光学系统的两侧,在所述第一对位系统侧设置上下料工位,在所述第二对位系统侧设置翻转工位,所述第一工作台和所述第二工作台至少一工作台具有竖向滑轨,带动所述第一工作台或者第二工作台的台面升高或者降低。通过第一工作台和第二工作台往返操作通过同一工作台完成工件的双面加工,并且第一工作台和第二工作台紧密配合,更能够提高生产效率。

基本信息
专利标题 :
一种双面加工系统及加工方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112631087A
申请号 :
CN202110097621.6
公开(公告)日 :
2021-04-09
申请日 :
2021-01-25
授权号 :
CN112631087B
授权日 :
2022-04-22
发明人 :
肖敏段艳霞李伟成张雷
申请人 :
苏州源卓光电科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202110097621.6
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-22 :
授权
2021-04-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20210125
2021-04-09 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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