一种靶材组件和X射线显微镜
公开
摘要
本发明公开了一种靶材组件和X射线显微镜，该靶材组件包括第一段，所述第一段包括第一散热层，所述第一散热层设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有第一靶材，所述第一靶材具有受电子束作用的第一作用面，所述第一作用面相对于所述第一凹槽的底面倾斜设置。本发明提供一种靶材组件和X射线显微镜，增大了有效照射区域内的X射线密度，提高X射线显微镜的成像质量。
基本信息
专利标题 ：
一种靶材组件和X射线显微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114324414A
申请号 ：
CN202111031885.8
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-09-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李帅曲士座寇会民
申请人 ：
聚束科技（北京）有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区永昌北路3号3幢8101-A单元
代理机构 ：
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 ：
胡亮
优先权 ：
CN202111031885.8
主分类号 ：
G01N23/04
IPC分类号 ：
G01N23/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/02
通过使辐射透过材料
G01N23/04
并形成材料的图片
法律状态
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
