电子装置的制造方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种电子装置的制造方法，包括设定一基本工作面积；提供一承载平台，其中承载平台具有多个真空吸盘；将基板设置在承载平台上；以多个真空吸盘中的一部分对基板的一部分进行真空吸引，其中基板中受真空吸引的该部分定义为一吸引区域；以及对该吸引区域的一部分进行曝光。其中，吸引区域的面积大于基本工作面积且小于承载平台的面积。
基本信息
专利标题 ：
电子装置的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114384768A
申请号 ：
CN202111157230.5
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-09-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王程麒陈永一郑承恩
申请人 ：
群创光电股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹科学工业园区苗栗县
代理机构 ：
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
孙皓晨
优先权 ：
CN202111157230.5
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20210930
申请日 : 20210930
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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