多层嵌套X射线聚焦镜主动力控制快速装调方法
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摘要
多层嵌套X射线聚焦镜主动力控制快速装调方法，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该装调方法用于保证多层嵌套镜片装配工艺的一致性，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高装调效率。包括以下步骤：S1.取来待装调的镜筒；S2.悬吊镜筒；通过装调装置的吊装盘组件悬吊镜筒；S3.调整镜筒位姿：由装调装置的吊装盘组件实现；S4.调整轮毂位姿：由装调装置的轮毂调节组件实现；S5.安装调准遮光光阑；S6.镜筒入槽；S7.调整相机位置，测试焦前焦后光斑，确认聚焦镜片指向对齐；S8.计算聚焦镜焦距，调整镜筒入槽深度；S9.点胶固化镜筒；S10.装调下一个镜筒。本发明可实现自动化控制，同时避免了人为操作引入的不规范性。
基本信息
专利标题 ：
多层嵌套X射线聚焦镜主动力控制快速装调方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113936839A
申请号 ：
CN202111194438.4
公开（公告）日 ：
2022-01-14
申请日 ：
2021-10-13
授权号 ：
CN113936839B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
王波廖秋岩丁飞薛家岱李铎乔政吴言功杨彦佶陈勇
申请人 ：
哈尔滨工业大学
申请人地址 ：
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
代理机构 ：
哈尔滨龙科专利代理有限公司
代理人 ：
郭莹莹
优先权 ：
CN202111194438.4
主分类号 ：
G21K1/06
IPC分类号 ：
G21K1/06 G01N23/2273
IPC结构图谱
G
G部——物理
G21
核物理；核工程
G21K
未列入其他类目的粒子或电离辐射的处理技术；照射装置；γ射线或X射线显微镜
G21K1/00
粒子或电离辐射的处理装置，如聚焦或慢化
G21K1/06
应用衍射、折射或反射，如单色仪
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2022-02-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G21K 1/06
申请日 : 20211013
申请日 : 20211013
2022-01-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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