一种晶圆盒对位翻转机构
授权
摘要
本申请涉及一种晶圆盒对位翻转机构，工作时，先将晶圆盒放置到第一旋转座上，第一固定定位块与第一侧边定位块先对晶圆盒底部进行初步固定，发出端滑动定位驱动件推动晶圆盒抵靠住第一固定定位块以对晶圆盒进行固定。而后，第一滑动定位驱动件推动晶圆盒靠近第一固定定位块以对晶圆盒的侧壁进行固定。由于晶圆盒的两个面都被固定，第一旋转座翻转90度时，晶圆盒不会松动，翻转后再由推动总成完成晶圆的推出。本发明的晶圆盒对位翻转机构实现了自动化的晶圆与晶圆盒的分离。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆盒对位翻转机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114023682A
申请号 ：
CN202111244336.9
公开（公告）日 ：
2022-02-08
申请日 ：
2021-10-26
授权号 ：
CN114023682B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
钱诚童建周志勇
申请人 ：
江苏亚电科技有限公司;亚电科技南京有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号
代理机构 ：
北京商专润文专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈平
优先权 ：
CN202111244336.9
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68 H01L21/687
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2022-02-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/68
申请日 : 20211026
申请日 : 20211026
2022-02-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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