一种热电堆及其制备方法、热电堆红外探测器
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种热电堆及其制备方法、热电堆红外探测器，涉及红外探测器技术领域，用于提供一种灵敏度高热电堆的技术方案。热电堆的制备方法包括：提供SOI衬底；对SOI衬底中的顶层硅进行第一图形化处理，得到第一热电偶层；在第一热电偶层上依次形成第一绝缘层和第二热电偶材料层；对第二热电偶材料层进行第二图形化处理，得到第二热电偶层；在第二热电偶层上形成第二绝缘层，在第二绝缘层上形成连通至第二热电偶层的顶部的多个第一接触孔，以及形成连通至第一热电偶层的顶部的多个第二接触孔；在多个第一接触孔中、多个第二接触孔中以及第二绝缘层上形成金属电极结构；在金属电极层上形成光吸收层；在SOI衬底中的背衬底上形成背腔，得到热电堆。
基本信息
专利标题 ：
一种热电堆及其制备方法、热电堆红外探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114335317A
申请号 ：
CN202111423432.X
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-11-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
周娜毛海央李俊杰高建峰杨涛李俊峰
申请人 ：
中国科学院微电子研究所
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京知迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
王胜利
优先权 ：
CN202111423432.X
主分类号 ：
H01L35/34
IPC分类号 ：
H01L35/34 H01L35/32 G01J5/14
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 35/34
申请日 : 20211126
申请日 : 20211126
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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