单侧引出电压测试焊盘的单通孔跨层型电迁移测试结构
实质审查的生效
摘要
本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种单侧引出电压测试焊盘的单通孔跨层型电迁移测试结构,包括硅衬底层和绝缘介质层,所述硅衬底层的顶部设有所述绝缘介质层,还包括:位于所述绝缘介质层内部的金属化测试线、互连检测线和通孔;所述金属化测试线:用于进行电迁移效应的测试;所述互连检测线:用于互连和进行检测的金属线;所述通孔:用于多层级结构互连;大面积金属化的电流测试焊盘和电压测试焊盘:分别用于电流输入和电压读取。所述互连检测线包括:测试线互连段、金属互连线和电压检测线。所述测试结构,包含两层金属层,用于评价半导体器件制造过程中引起的电迁移可靠性问题。
基本信息
专利标题 :
单侧引出电压测试焊盘的单通孔跨层型电迁移测试结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114264926A
申请号 :
CN202111426037.7
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2021-11-26
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
贾沛虞勇坚万永康陆坚
申请人 :
中国电子科技集团公司第五十八研究所
申请人地址 :
江苏省无锡市滨湖区惠河路5号
代理机构 :
无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
叶昕
优先权 :
CN202111426037.7
主分类号 :
G01R31/26
IPC分类号 :
G01R31/26 G01R19/00 H01L23/544
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/26
申请日 : 20211126
申请日 : 20211126
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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