一种硅片表面光泽度测试用移动装置
授权
摘要

本发明涉及了一种硅片表面光泽度测试用移动装置,包括工作台,工作台上设有工作板、测试仪器承载架和显示PLC控制器;工作板用于放置硅片试样,测试仪器承载架用于承载光泽度仪,光泽度仪的检测口面向工作板的上表面;测试仪器承载架包括支架、竖直升降机构、旋转机构和水平直线移动机构;支架固定在工作台上,竖直升降机构固定在支架上,竖直升降机构带动旋转机构升降,旋转机构带动水平直线移动机构旋转,水平直线移动机构带动光泽度仪水平移动,光泽度仪的检测口的零点位置与旋转机构的旋转轴心线重合。本技术方案替代了人工操作方式,消除了人为干扰因素对测试结果的影响,提高了检测质量和检测效率,实现了对各样品操作步骤的统一量化。

基本信息
专利标题 :
一种硅片表面光泽度测试用移动装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113866133A
申请号 :
CN202111448737.6
公开(公告)日 :
2021-12-31
申请日 :
2021-12-01
授权号 :
CN113866133B
授权日 :
2022-05-06
发明人 :
袁恒
申请人 :
山东天大清源信息科技有限公司
申请人地址 :
山东省菏泽市牡丹区吴店镇清源路7号(牡丹区机械电子新材料产业园内)
代理机构 :
济南龙瑞知识产权代理有限公司
代理人 :
靳兵花
优先权 :
CN202111448737.6
主分类号 :
G01N21/57
IPC分类号 :
G01N21/57  G01N21/01  F16M11/04  F16M11/18  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/55
镜面反射率
G01N21/57
测量光泽度
法律状态
2022-05-06 :
授权
2022-01-21 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/57
申请日 : 20211201
2021-12-31 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332