具有电极和电介质的MEMS装置
公开
摘要
本公开涉及具有电极和电介质的MEMS装置。MEMS装置的第一电极可以沿轴线并平行于该轴线纵向定向，并且可以具有第一端和第二端。第二电极可以沿轴线并平行于该轴线纵向定向，并且可以具有第一端和第二端。第三电极可以沿轴线并平行于该轴线纵向定向，并且可以具有第一端和第二端。第一电极、第二电极和第三电极可以各自至少部分地位于可以围绕第二电极的第二端和第三电极的第一端的固体电介质的多个孔中的一个孔内。第二电极的第一端和第三电极的第二端可以位于固体电介质的外部。
基本信息
专利标题 ：
具有电极和电介质的MEMS装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114590770A
申请号 ：
CN202111454000.5
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2021-12-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
P·V·洛佩特M·佩德森
申请人 ：
美商楼氏电子有限公司
申请人地址 ：
美国伊利诺伊州
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
党晓林
优先权 ：
CN202111454000.5
主分类号 ：
B81B7/02
IPC分类号 ：
B81B7/02 B81B7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
B81B7/02
包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微电子—机械系统
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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