用于制造介电弹性体的装置
实质审查的生效
摘要

本发明涉及机械制造技术领域,提供一种用于制造介电弹性体的装置,包括制造平台、成膜装置、电极印染装置以及移载装置。移载装置包括支架、第一移载机构、第二移载机构以及第三移载机构,第二移载机构通过第一移载机构在水平X方向移动,电极印染装置安装于第二移载机构上且通过第二移载机构在竖直Z方向移动,以及,支架或成膜装置通过第三移载机构在水平Y方向移动。成膜装置在其表面形成具有弹性的膜结构;电极印染装置则是在膜结构上进行印染电极图形,然后,在根据介电弹性体实际的膜层数,再重复上述两个步骤。本申请的用于制造介电弹性体的装置,整个制造过程简单,结构也更加简单。

基本信息
专利标题 :
用于制造介电弹性体的装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114361328A
申请号 :
CN202111493172.3
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-08
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈丁王磊高兴曹崇景
申请人 :
深圳先进技术研究院
申请人地址 :
广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
代理机构 :
深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人 :
王政
优先权 :
CN202111493172.3
主分类号 :
H01L41/22
IPC分类号 :
H01L41/22  H01L41/29  B65G47/90  
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 41/22
申请日 : 20211208
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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