一种PPM电容器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种PPM电容器及其制备方法，包括：衬底，所述衬底上形成有支撑层；PIP电容结构，包括第一极板、第一介电层及第二极板，所述第一极板位于所述衬底上并包裹所述支撑层以使所述第一极板呈凸字形，所述第一介电层及所述第二极板依次位于所述第一极板的凸顶面上；第二介电层，位于所述第二极板上且覆盖所述第二极板的部分顶面；第三极板，位于所述第二介电层上。通过增加所述第三极板，使所述第三极板与所述第二极板形成的电容与所述PIP电容结构并联，在不增加电容器尺寸的前提下增加所述电容器的电容值。
基本信息
专利标题 ：
一种PPM电容器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114335342A
申请号 ：
CN202111561856.2
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
汤志林王卉付永琴曹子贵
申请人 ：
上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区祖冲之路1399号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周耀君
优先权 ：
CN202111561856.2
主分类号 ：
H01L49/02
IPC分类号 ：
H01L49/02 H01L27/01 H01L27/108
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 49/02
申请日 : 20211216
申请日 : 20211216
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
