本申请实施例提供一种用于检测器件高度的方法、装置、存储介质及电子设备。方法包括：在待检测器件的器件图像中生成检测区域，可选地检测区域覆盖可选地器件图像中待检测器件的至少一个边界，并指示针对可选地待检测器件的高度扫描方向；在可选地检测区域所覆盖的器件图像中确定可选地待检测器件对应的像素；沿可选地高度扫描方向在可选地检测区域内对可选地器件图像进行扫描，根据可选地待检测器件对应的像素，得到可选地待检测器件的边界与预设基准面之间的间距距离；根据多次扫描确定的间距距离确定可选地待检测器件的器件高度。通过上述技术方案，能够方便快捷地计算出器件高度，能够适用于高通量的检测场景，能够适用于不同的检测对象。