一种晶圆方向判定系统及方法
公开
摘要

本申请公开了一种晶圆方向判定系统及方法,所述系统包括:光源控制器、工控机和视觉检测装置;所述光源控制器用于将光源打开并照射在位于黑色非反光背景台面上的晶圆;所述工控机与所述视觉检测装置电连接,所述工控机用于控制相机对所述晶圆拍摄,并将拍摄的晶圆图片传输至所述视觉检测装置;所述视觉检测装置用于自动识别所述晶圆图片中所述晶圆大切边的中垂线位置,从中垂线位置开始顺时针旋转计算与所述晶圆小切边中垂线之间的夹角角度,得到角度值;根据所述角度值与预设角度值比较,若等于则判定所述晶圆为正面;若不等于,则判定所述晶圆为反面。本申请实现了对晶圆正反面方向的快速判定,节省了检测时间,提高晶圆的成品良率。

基本信息
专利标题 :
一种晶圆方向判定系统及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114295613A
申请号 :
CN202111596921.5
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2021-12-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
冀菲胡文张秀全刘亚明
申请人 :
济南晶正电子科技有限公司
申请人地址 :
山东省济南市高新区港兴三路北段1号济南药谷研发平台1号楼B1806
代理机构 :
北京弘权知识产权代理有限公司
代理人 :
逯长明
优先权 :
CN202111596921.5
主分类号 :
G01N21/84
IPC分类号 :
G01N21/84  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
法律状态
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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