等离子体处理的异常判定系统以及异常判定方法
公开
摘要
被公开的异常判定系统具备：等离子体处理装置，其能够基于制程一次处理多件工件；传感器，其取得与工件以及等离子体处理中的等离子体处理装置相关的至少一个监视数据；存储部，其存储根据包括工件的件数以及种类在内的第一处理方式而设定的阈值；以及判定部，其基于监视数据和阈值，判定等离子体处理是否存在异常。
基本信息
专利标题 ：
等离子体处理的异常判定系统以及异常判定方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114467163A
申请号 ：
CN202080068355.8
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2020-09-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
野野村胜
申请人 ：
松下知识产权经营株式会社
申请人地址 ：
日本大阪府
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
王亚爱
优先权 ：
CN202080068355.8
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67 H05H1/24
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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