本发明公开了一种气体结晶薄膜生长高度实时测量装置及方法，包括干涉测量系统和控制处理模块；干涉测量系统包括光纤激光器、单模保偏光纤、双胶合透镜、起偏器、偏振分光棱镜、四分之一波片、平面反射镜、压电陶瓷、检偏器、显微物镜、成像镜和相机；所述的控制处理模块包括移相控制模块、图像采集模块、干涉图数据分析处理模块；移相控制模块与压电陶瓷相连，通过控制加载电压实现固定步长的微小位移，从而引入移相量；图像采集模块与相机相连，每次移相之后采集一张待测薄膜生长干涉图，在获取一组移相干涉图后，将数据传输至干涉图数据分析处理模块进行分析。利用本发明，可以有效且高精度的对稀有气体结晶薄膜的生长高度进行实时计算。