三维存储器及其制备方法以及电子设备及其控制方法
公开
摘要

本申请提供三维存储器及制备方法、电子设备及控制方法。制备方法包括:在衬底上形成叠层结构,在叠层结构中形成贯穿其中并延伸至衬底的沟道结构,沟道结构包括沟道孔和依次形成在沟道孔内壁上的功能层和沟道层;去除衬底,并去除延伸至衬底的部分功能层,以暴露沟道层;形成与暴露的沟道层连接的第一半导体层和第二半导体层。第一半导体层包含第一导电类型的杂质,第二半导体层包含与第一导电类型相反的第二导电类型的杂质。通过利用极性相反的双层半导体层连接沟道层,可在存储器中形成等电位且极性相反的双阵列公共源极,从而有效改善存储器的稳定性,并使存储器在执行擦除、读写和编程操作时,均具有双倍的进程窗口,提高系统的稳定性。

基本信息
专利标题 :
三维存储器及其制备方法以及电子设备及其控制方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114300474A
申请号 :
CN202111652992.2
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
颜丙杰
申请人 :
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 :
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 :
北京英思普睿知识产权代理有限公司
代理人 :
刘莹
优先权 :
CN202111652992.2
主分类号 :
H01L27/1157
IPC分类号 :
H01L27/1157  H01L27/11575  H01L27/11582  H01L25/18  G11C5/02  
法律状态
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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