用新型公开了一种化学机械打磨设备，包括工作台，所述工作台表面开设有若干个放置槽，所述工作台两端均安装有丝杆，所述丝杆一端穿过工作台与伺服电机的输出端连接，所述丝杆上套设有滑块，且其中的一个滑块上安装有打磨电机，所述打磨电机的输出端与打磨辊一端连接，所述打磨辊另一端转动安装在另一个滑块上，所述工作台上开设有若干个安装槽，所述安装槽内通过连接头安装有若干个螺杆，所述工作台一侧安装有安装架，所述安装架上安装有驱动电机，所述驱动电机输出端与其中一个螺杆穿出工作台的一端连接，所述安装架内侧设有相互啮合的若干个齿轮，本实用新型，对多个抛光垫原材料打磨方便，提高了打磨效率，保证了打磨精度。