一种电迁移测试装置
授权
摘要
本申请公开了一种电迁移测试装置，所述电迁移测试装置包括第一测试结构和第二测试结构。所述第一测试结构具有间隔设置的第一正极测试单元和第一负极测试单元，所述第一正极测试单元和所述第一负极测试单元之间用于电性连接第一金属测试线。所述第二测试结构具有间隔设置的第二正极测试单元和第二负极测试单元，所述第二正极测试单元和所述第二负极测试单元之间用于电性连接第二金属测试线。第一测试结构用于测出第一金属测试线在电迁移测试开始前的第一电阻值和电迁移测试结束后的第二电阻值，第二测试结构用于测出第二金属测试线在电迁移测试过程中的第三电阻值，通过第一电阻值、第二电阻值和第三电阻值可得到应力迁移和电迁移影响的电阻变化。
基本信息
专利标题 ：
一种电迁移测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122227785.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-14
授权号 ：
CN216670129U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
王志强
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
北京恒博知识产权代理有限公司
代理人 ：
张琦
优先权 ：
CN202122227785.4
主分类号 ：
G01R31/00
IPC分类号 ：
G01R31/00 G01R27/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/00
电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置；在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L21/66；线路传输系统的测试入H04B3/46）
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
