一种芯片生产用清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种芯片生产用清洗装置,包括机体、芯片及底座,其特征在于,机体的底端与底座的顶端固定连接,底座的底端四周分别与垫块的顶端固定连接,机体的两侧分别与抽风机的一端固定连接,抽风机的另一端分别与过滤网卡扣连接,机体的另外两侧分别安装有螺杆,机体的内壁两侧分别与夹持移动板的一侧活动连接,夹持移动板的另一侧等距安装有第一凹槽,第一凹槽的分别与芯片的两端嵌合连接,机体的内壁两侧分别与超声波清洗装置的一端固定连接,机体的内部底端装填有清洗液,夹持移动板的另一侧两端分别设有第二凹槽,机体的顶端与机盖的底端卡扣连接,抽风机的底端分别安装有玻璃窗。本实用新型结构简单,操作方便。
基本信息
专利标题 :
一种芯片生产用清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122460130.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-08
授权号 :
CN216501157U
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
蔡华文
申请人 :
湖北科瑞半导体技术有限公司
申请人地址 :
湖北省天门市经济开发区芯创电子信息产业园(西湖路317号)
代理机构 :
合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
江兰
优先权 :
CN202122460130.1
主分类号 :
B08B3/12
IPC分类号 :
B08B3/12 F26B21/00 B01D46/10
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的,如用加热,电力,振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的(声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13;使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20;超声波振动用于一般化学、物理,或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2022-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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